感应耦合等离子体刻蚀系统利用射频天线，通过感应耦合方式在放电腔中产生高密度等离子体，同时刻蚀工作台引入射频偏压，射频偏压作用下，等离子体中垂直向下对被刻蚀材料表...

反应离子腐蚀技术是一种各向异性很强、选择性高的干法腐蚀技术。它是在真空系统中利用分子气体等离子来进行刻蚀的，利用了离子诱导化学反应来实现各向异性刻蚀，即是利用离...

IBE刻蚀机采用离子束刻蚀技术，其原理基于离子和固体表面的相互作用。具体而言，离子束通过控制系统加速并聚焦，然后瞄准待刻蚀的样品表面。离子束在与样品表面相撞时，...